在線連續(xù)溯源 + 超標告警，奧斯恩無塵車間塵埃粒子智能質(zhì)控
在半導體制造、生物醫(yī)藥、精密儀器等技術領域快速發(fā)展的時代背景下，潔凈室作為控制環(huán)境污染的核心基礎設施，其空氣質(zhì)量直接關系到產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)良率乃至生命安全。隨著芯片制程不斷向納米級演進，哪怕0.1微米的微小顆粒附著在晶圓表面，都可能導致電路短路、擊穿等致命缺陷，造成巨額經(jīng)濟損失。
塵埃粒子監(jiān)測系統(tǒng)是一款專門應用于潔凈環(huán)境的潔凈度監(jiān)控和微粒子計數(shù)檢測等領域的精密測試儀器?？梢暬O計使得操作者能夠便捷地進行校準和調(diào)試，極大地提升了使用體驗。其次，儀器在穩(wěn)定性方面表現(xiàn)出色，能夠在長時間運行中保持穩(wěn)定的測量性能。此外，測量精度高也是其一大亮點，能夠為用戶提供可靠的數(shù)據(jù)支持。在體積和重量方面，該儀器設計緊湊，體積小巧，重量輕便，便于攜帶和安裝，不會給使用者帶來額外的負擔。
工作原理
基于光散射原理作為其核心理論基礎，這一原理利用光與塵埃粒子相互作用時產(chǎn)生的散射現(xiàn)象，空氣中的塵埃粒子在光照射下發(fā)生散射，散射光的強度隨粒子的表面積增加而增大，根據(jù)測定的散射光強度推知粒子的大小。
結合良好的光電傳感技術，融合高靈敏度的光電探測器和精密的信號處理算法，能夠高效、準確地實現(xiàn)對塵埃粒子粒徑的精確檢測。同時，該技術還能夠對粒子數(shù)量進行準確計數(shù)，通過高精度的計數(shù)算法和實時數(shù)據(jù)處理能力，確保在復雜環(huán)境中也能準確統(tǒng)計塵埃粒子的數(shù)量。
系統(tǒng)特點
高精度傳感器，計數(shù)準確，符合JJF1190-2008規(guī)范；
支持拓展成0.3um、0.5um、1um 、3um、5um、10um 6個粒徑檔監(jiān)測；
2.4寸智能觸摸屏，快速響應、人機交互，實時顯示監(jiān)測數(shù)據(jù)；
支持根據(jù)要求進行定制化顯示界面；
儀器內(nèi)置真空源，震動小、噪音低、性能穩(wěn)定；
支持在屏幕上直接自行設定儀器地址，便于現(xiàn)場替換；
屏幕數(shù)據(jù)報警，帶流量傳感器實時監(jiān)測流量并對流量進行實時自調(diào)節(jié)；
采用日本進口半導體激光源，壽命大于30000小時（需每年標定）；
RS485通訊，支持ModbusRTU協(xié)議，支持定制化通訊協(xié)議；
可增加無線天線，升級為無線傳輸方式（選配）；
支持智能物聯(lián)，遠程啟動，提高潔凈度監(jiān)測質(zhì)量。
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